东京精密 表面粗糙度·轮廓形状测量机

SURFCOM NEX可以对应粗糙度测量、轮廓测量、粗糙度轮廓形状综合测量这三种功能，可以根据测量目的选择相应的传感器。不但各种传感器可以单独使用，也可以将各种传感器组合起来，作为复合机使用。无论是混合型、粗糙度轮廓复合型传感器，都能根据用途自由选择。

SURFCOM 的进化表现出了新的标准在市场上的实际表现证明了它无以伦比的扩展性能一直在追求功能和设计兼顾的NEX系列正在世界上衍生成为新的标准

无论是粗糙度测量、轮廓形状测量、混合测量，都能在升级追加功能新产品的扩展性能使得一台设备能拥有多种功能

例如，如果只是需要一般的粗糙度测量机，则只要选择粗糙度传感器就可以。后续，如果需要同时评价R面的粗糙度和大量程的表面形状，只要升级为混合传感器就可以满足，而仅仅只需要更换传感器就可以了。此外，还可以根据测量需求进行系统升级，如升级为轮廓形状传感器和三维粗糙度测量等。

东京精密 表面粗糙度·轮廓形状测量机

凭借线性驱动部获得令人吃惊的低振动

无限提升传感器的分辨率本身并非难事。然而，如果不重新审视传感器的驱动结构，只是不必要地提升传感器单体的分辨率，那么就*没有意义，这样的规格也只是摆设而已。東京精密在**在驱动部搭载高精度线性马达，同时根本性地达到结构上的“高精度极限点"，以动态分辨率（Dynamic Resolution）的创意实现了的实力提升。

非接触驱动的有效性

线性马达也适合往复运动，可准确定位并进行高速测量。传统的控制是组合了电机、编码器、线性光栅尺的滚珠丝杠驱动控制，因此特别是对于三维表面性状评价等，由于准确定位造成往复运动的控制响应性出现了极限。线性驱动基本上是仅靠线性马达和标尺的简单控制，因此可进行高响应性高精度的定位。

对位

为了不损害线性马达的超低振动特性，安装在X轴驱动部的手动进给机构在实际测量时，自动将手动齿轮机构与线性测量机构的连结分离开来。这样既确保了良好的操作性，又获得了高精度。此外，在手持操作部，为了能够在操纵杆操作以外切实操作微细的对位，布局了微动进给用JOG拨盘。

拥有温度补正系统，使精度保证温度范围扩大到20℃ ±5℃

NEX 系列的驱动部配备了标准温度补正系统，使精度保证温度范围从原来的20℃ ±2℃扩大到了20±5℃。以往，因为温度变化引起的热胀冷缩会使 X 方向的指示精度受到影响，但是内置的温度传感器会根据实际的变化，自动进行补正。温度的补正与否对传感器的精度影响非常大，通过组合实现温度补正时NEX系列*的功能

免维护

日常不需要向驱动机构加注润滑脂、润滑油。本公司更改了驱动支持导轨面的材质和机构，对无给油进行实证，实现了日常免维护。但是基于保证测量机精度的观点，我们推荐定期维护。